добавлено
Компоненты микросистемной техники. Основы конечно-элементного анализа радиочастотных микроэлектромеханических системАлексей Александрович ЛевицкийРассмотрены принципы работы компонентов радиочастотных микроэлектромеханических систем и описаны при…
добавлено
Микросистемные датчики физических величин: монография в двух частяхА. С. ТимошенковВ книге изложены современные принципы построения, методы расчета и проектирования микросистемных дат…
добавлено
Наноэлектроника, нанофотоника и микросистемная техникаВиталий Иванович СмирновИзложены физические основы наноэлектроники, нанофотоники и микросистемной техники. Рассмотрены вопро…
добавлено
Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техникиСветлана Аркадьевна КозубнякРассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки …