Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение

Релятивистские магнетроны

Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.

учебная и научная литература

техническая литература

учебники и пособия для вузов

технические науки

эксплуатация промышленного оборудования

книги для студентов и аспирантов

конструирование оборудования

физика плазмы

инженерно-техническая деятельность

магнетрон

знания и навыки