знания и навыки

учебная и научная литература

учебники и пособия для вузов

технические науки

естественные науки

Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.
Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».

сказки

волшебство

Новый год

новогодние сказки

волшебные сказки

новогодние истории

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум

Без серии

Ю. С. Боброва