Технологические процессы микроэлектроники – В. В. Макарчук

Описана методика проведения лабораторных работ по дисциплине «Технологические процессы микроэлектроники», выполнение которых необходимо для приобретения студентами начальных навыков распознавания элементов топологии полупроводниковых интегральных микросхем и практической работы с оборудованием, используемым при их производстве. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры», а также других специальностей факультета «Информатика и системы управления», подготовка которых предусматривает изучение дисциплин, связанных с технологиями микроэлектроники.