Методы аттестации наноструктурных поверхностей. Методы формирования и исследования функциональных поверхностей
Лабораторный практикум содержит описание семи лабораторных работ, при выполнении которых студенты изучают физические основы формирования функциональных поверхностей, устройство оборудования и методики измерений, получают навыки работы на современных технологических установках осаждения покрытий методами физического и химического осаждения, а также проводят исследования на аналитических средствах измерений, предназначенных для аттестации свойств покрытий.
