Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий
Автор: Дмитрий Григорьевич Крутогин
Жанры:
Язык: Русский
Тип: Текст
Опубликовано здесь:
Файл подготовлен:
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».
