Инженерная вакуумная техника
Изложены основные положения физики вакуума, описание и принципы работы элементов вакуумного оборудования (вакуумных насосов, манометров, фланцев, электрических и механических вводов в вакуум и др.), работающих в высоком и сверхвысоком вакууме. Приведено описание лабораторных работ по практическому освоению вакуумной техники. Для студентов и инженеров, связанных с вакуумной техникой.
