знания и навыки

учебная и научная литература

учебники и пособия для вузов

технические науки

естественные науки

Изложены основные положения физики вакуума, описание и принципы работы элементов вакуумного оборудования (вакуумных насосов, манометров, фланцев, электрических и механических вводов в вакуум и др.), работающих в высоком и сверхвысоком вакууме. Приведено описание лабораторных работ по практическому освоению вакуумной техники.
Для студентов и инженеров, связанных с вакуумной техникой.

правоведение

Инженерная вакуумная техника

Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине «Физика вакуума» студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».

современная русская литература

охотничьи рассказы

рассказы

Расчет вакуумных систем технологического оборудования

Без серии

Е. А. Деулин