Микродатчики и микросистемы
Автор: Александр Викторович Гридчин
Жанры:
учебная и научная литература,компьютерное железо,программирование,учебники и пособия для вузов,технические науки,информатика и вычислительная техника,прикладная информатика,языки программирования,информационные технологии (IT),программное обеспечение,микроэлектроника,датчики,знания и навыки,микросхемы
Язык: Русский
Тип: Текст
Опубликовано здесь:
Файл подготовлен:
Представлены конструкции и принципы работы основных типов микродатчиков и микросистем, разработанных и применяемых в настоящее время. Даны определения основным терминам, используемым в микросистемной технике. Приведен перечень метрологических параметров, характеризующих микросистему как измерительный прибор. Отдельным вопросом рассмотрено компьютерное моделирование и проектирование микросистем на основе программного пакета ANSYS. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».











