Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus – А. А. Глушко

Рассмотрена система TCAD Sentaurus приборно-технологического моделирования процессов формирования элементов интегральных микросхем, а также моделирования физических процессов, протекающих в этих элементах при различных условиях эксплуатации. Система представляет собой комплекс программ, развернутых на удаленном сервере под управлением операционных систем, подобных Linux. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры».