Устойчивость и разрушение дефектных механических наноструктур – Андрей Александрович Бычков

Устойчивость и разрушение дефектных механических наноструктур
Скачать
Поделиться:
Язык:
Русский (эта книга не перевод)
Опубликовано здесь:
2020-11-30
Файл подготовлен:
2020-11-26 23:24:26

В книге рассматриваются вопросы релаксации полупроводниковой пленки за счет энергии деформации. Учитывается одновременно изменение упругой энергии несоответствия, как за счет дислокационной перестройки, так и за счет механизма неоднородного распределения состава компонент пленки. Сформулированы системы уравнений описывающих процессы релаксации. Построены компьютерные модели пленки SiGe нанометровой толщины на Si подложке и SiGe островков нанометровых размеров на смачивающем слое, учитывающие влияние механодиффузии, наличие дислокаций несоответствия, туннельных трещин, проникающих и винтовых дислокаций. Выполнены расчеты построенных моделей с использованием метода конечных элементов, аппроксимирующих формул и итерационного алгоритма. Особое внимание уделено подробному обсуждению полученных результатов и соответствующим выводам. Представленные результаты помогают определить оптимальные режимы выращивания наноразмерных эпитаксиальных гетероструктур.

Монография подготовлена в Южном федеральном университете.

Для студентов, аспирантов и научных работников, специализирующихся в области механики деформируемого твердого тела.

Полная версия

Читать онлайн

Оставить отзыв

Рейтинг@Mail.ru